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一种电子级三乙基镓的制备方法 

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摘要:本发明公开了一种电子级三乙基镓的制备方法,具体包括以下步骤:1在惰性气体条件下,向镁粉和有机溶剂中持续加入氯乙烷,然后在加热搅拌条件下持续加入无水三氯化镓溶液;2蒸馏和精馏;3通过第一层析柱和第二层析柱,加热解配,离心分离,即得。本发明先通过格式试剂法和取代反应制得三乙基镓配合物,然后依次进行蒸馏和精馏,并使用二重层析柱进行提纯,最后加热解配,离心分离,得到了满足国际半导体设备与材料协会中规定标准的高纯度电子级三乙基镓。

主权项:1.一种电子级三乙基镓的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤:1在惰性气体条件下,向镁粉和有机溶剂中持续加入氯乙烷,然后在加热搅拌条件下持续加入无水三氯化镓溶液,得到反应溶液;2将反应溶液依次进行蒸馏和精馏,得到纯化溶液;3将纯化溶液依次通过第一层析柱和第二层析柱,加热解配,离心分离,即得所述电子级三乙基镓。

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百度查询: 北京化工大学 一种电子级三乙基镓的制备方法

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