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摘要：本发明涉及半导体测试技术领域，且公开了一种晶圆级老化测试装置，包括工作台，所述工作台表面与加热块底部固定连接，所述工作台表面与检测器底部固定连接，所述加热块表面开设有装配槽，所述加热块底部固定连接有传动块，所述工作台底部固定连接有气缸，所述气缸输出端与传动块底部传动连接。本发明通过设置有吸附机构，对待测试的晶圆进行支撑同时进行吸附固定，防止因外界因素而产生偏移，防止偏移影响测试结果，设置有支撑机构，支撑机构对待测试晶圆进行支撑，通过摩擦力防止晶圆在检测过程中产生振动，与吸附机构配合，增加吸附机构对晶圆的吸附力，使晶圆的吸附更加稳定，使晶圆级老化测试装置能够正常使用。
主权项：1.一种晶圆级老化测试装置，包括工作台1，所述工作台1表面与加热块2底部固定连接，所述工作台1表面与检测器4底部固定连接，所述加热块2表面开设有装配槽5，所述加热块2底部固定连接有传动块7，所述工作台1底部固定连接有气缸6，所述气缸6输出端与传动块7底部传动连接，其特征在于，还包括：吸附机构3，所述吸附机构3设置在装配槽5内部，所述吸附机构3包括滑动套筒301，所述滑动套筒301外壁与装配槽5内壁滑动连接，所述滑动套筒301内壁与滑动杆302外壁滑动连接，所述滑动杆302顶部与中心杆305底部固定连接，所述滑动杆302远离滑动套筒301一端通过转动轴与铰接杆一303靠近滑动杆302一端铰链连接，所述铰接杆一303内壁与限位杆一304外壁滑动连接，所述限位杆一304两端均与装配槽5槽壁固定连接，所述铰接杆一303外壁与支撑套306外壁固定连接，所述支撑套306内壁与滚珠二3012外壁滑动连接，所述支撑套306内壁设置有弹簧二3013，所述弹簧二3013一端与支撑套306内壁固定连接，另一端与滚珠二3012外壁滑动连接，所述铰接杆一303内壁与滚珠一307外壁包覆连接，所述滑动套筒301外壁设置有支撑机构31，所述滑动套筒301内壁设置有限位机构32。
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百度查询： 山东联华智成信息科技有限公司 一种晶圆级老化测试装置
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