龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明公开了一种多功能硅片烧结光衰炉及其控制方法，包括烘干段、烧结段和光衰段，所述烘干段内设置有烘干箱，烧结段内设置有烧结箱，光衰段内设置有光强灯箱，硅片依次经过烘干箱、烧结箱和光强灯箱，位于烘干箱和烧结箱上均设置有燃烧塔，位于整个炉体的底部设置有清洁箱。本发明的光强灯箱具有更少的灯珠，并且整体功率减小、光强增大，工作效率更高，废气经过燃烧塔中S型路径，使其燃烧的更加充分，另外，烧结过程中温度的控制也更加精准、迅速。
主权项：1.一种多功能硅片烧结光衰炉，其特征在于，包括烘干段（1）、烧结段（2）和光衰段（3），所述烘干段（1）内设置有烘干箱，烧结段（2）内设置有烧结箱，光衰段（3）内设置有光强灯箱，硅片依次经过烘干箱、烧结箱和光强灯箱，位于烘干箱和烧结箱上均设置有燃烧塔（4），位于整个炉体的底部设置有清洁箱。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州科隆威智能技术有限公司 一种多功能硅片烧结光衰炉及其控制方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号