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一种基于DBC互连的功率半导体封装结构的封装方法 

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摘要:本发明公开了一种基于DBC互连的功率半导体封装结构的封装方法,本发明采用DBC互连的方式,相较于传统的金属线键合,通过大尺寸铜柱连接上下DBC板,该方式有利于减小杂散电感,同时铜柱还能够增强散热效果;本发明提供的相变材料,在碳纤维表面原位生成纳米氮化硅,通过原位合成,纳米氮化硅可以在碳纤维表面形成均匀的涂层,避免了共混过程中出现的颗粒聚集问题,同时采用原位生成的方式,能够在微观结构上形成有效的热传导路径,降低热界面热阻,增加热传导效率,从而提升相变材料的导热性能;随后采用硬脂酸对碳纤维负载纳米氮化硼材料进行处理,提高了碳纤维负载纳米氮化硼材料在石蜡中的分散性能,进一步提高了热传导的效率。

主权项:1.一种基于DBC互连的功率半导体封装结构的封装方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、准备下DBC板(1),将焊料(3)涂覆在下DBC板(1)上侧的铜层(2)表面,并将芯片(4)贴装在焊料(3)表面;S2、填充导热胶(5)进行灌封固化;S3、刻蚀孔洞,并在孔洞中生长铜柱(6);S4、去除多余导热胶(5)和铜柱(6),磨平至与芯片(4)高度一致;S5、采用上DBC板(7)贴装,形成上下DBC板互连结构;S6、分别在上下DBC板的铜层上连接对外端子(8);S7、分别在上下DBC板的铜层上贴装散热板(9),所述散热板(9)上填充有相变材料(10);其中,所述相变材料(10)的制备方法如下:S01、将碳纤维加入到硫酸溶液中,加热搅拌处理,随后经过滤、洗涤、干燥,得到预处理碳纤维;S02、将预处理碳纤维浸入硼源溶液中,取出后经烘干处理,随后置于氨气气氛中进行煅烧,得到碳纤维负载纳米氮化硼材料;S03、将碳纤维负载纳米氮化硼材料和硬脂酸加入到乙醇溶剂中,加热搅拌均匀,随后经过滤、干燥,得到复合材料;S04、将石蜡加热至熔融,然后加入步骤S03中所得到的复合材料,搅拌均匀后冷却,粉碎,即得到所述相变材料。

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