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摘要：本公开涉及一种分离方法和分离装置。分离方法和分离装置用于将吸附垫与最终抛光设备的抛光头分离，其中，吸附垫贴附在抛光头上以用于吸附待抛光的晶圆。分离方法包括：对吸附垫的周向边缘施加压力，以使吸附垫与抛光头在周向边缘处紧密贴合；从吸附垫与抛光头的贴合面的侧边，在吸附垫与抛光头之间向贴合面的中央部分充入无定形介质；以及在吸附垫与抛光头于中央部分处分离后，停止施加压力，以使吸附垫与抛光头彻底分离。采用本公开的分离方法和分离装置，能够避免抛光头的用于贴附的部分受到破坏并且能够获得更快的分离速度和更高的分离效率。
主权项：1.一种分离方法，用于将吸附垫与最终抛光设备的抛光头分离，其中，所述吸附垫贴附在所述抛光头上以用于吸附待抛光的晶圆，其特征在于，包括：对所述吸附垫的周向边缘施加压力，以使所述吸附垫与所述抛光头在所述周向边缘处紧密贴合；从所述吸附垫与所述抛光头的贴合面的侧边，在所述吸附垫与所述抛光头之间向所述贴合面的中央部分充入无定形介质；以及在所述吸附垫与所述抛光头于所述中央部分处分离后，停止施加所述压力，以使所述吸附垫与所述抛光头彻底分离。
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百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 分离方法和分离装置
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