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摘要：本发明涉及一种进给组件，其为用于由熔体生长晶锭的生长室供给多晶硅。一种示例性系统包括壳体，该壳体具有用于接纳颗粒托盘和块体托盘中的一者的支承轨道，和位于支承轨道上方以选择性地进给颗粒托盘和块体托盘中的一者的进料储器。还公开了一种阀机构和脉冲振动器。
主权项：1.一种多晶硅进给系统，包括：用于供给最大尺寸在3mm和45mm之间的块状多晶硅的块体托盘，所述块体托盘包括：第一侧面和第二侧面，第一侧面和第二侧面各自具有下端，第一侧面和第二侧面在它们的下端处彼此隔开，平坦的底部，所述底部与所述第一侧面和第二侧面邻接；和磁脉冲振动器，所述磁脉冲振动器用于控制多晶硅从所述块体托盘到生长室的流动以由熔体生长出晶锭，所述磁脉冲振动器设置在所述块体托盘下方，电磁能量源，所述电磁能量源通过发射电磁能量使所述块体托盘振动；和控制器，所述控制器通过控制供给到所述电磁能量源的电压来控制所述块体托盘的进给速率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 环球晶圆股份有限公司 达维克国际有限公司 用于在晶体生长室中选择性进给块状多晶硅或粒状多晶硅的系统
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