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摘要：本公开涉及用于在微机电系统惯性传感器中选择性耦合的机构。本文提供用于在运动质量块之间选择性耦合平面内和平面外运动的耦合器。特别地，本申请的各方面提供一种耦合器，该耦合器被配置为在运动质量块之间耦合平面内运动，同时使运动质量块之间的平面外运动解耦。如本文所述的选择性耦合器可以用在装置中，例如微机电系统MEMS惯性传感器。在一些实施方案中，MEMS惯性传感器包括：第一质量块，被配置为在平面内移动；第二质量块，被配置为在平面内和平面外移动；和耦合器，耦合所述第一质量块和所述第二质量块，并且包括两个杠杆，该两个杠杆通过各自的系绳耦合到锚定点并且通过弹簧彼此耦合。
主权项：1.一种微机电系统MEMS惯性陀螺仪，包括：检测质量块，被配置为在平面内被驱动并响应于所述MEMS惯性陀螺仪的旋转而平面外移动；驱动阵列，被配置为在平面内移动以在平面内驱动所述检测质量块；和耦合器，耦合所述驱动阵列和所述检测质量块，并且包括两个杠杆，所述两个杠杆通过相应系绳耦合到锚定点并且通过弹簧彼此耦合，其中所述相应系绳中的每一个顺应平面内运动和平面外运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 美国亚德诺半导体公司 用于在微机电系统惯性传感器中选择性耦合的机构
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