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摘要：本发明提供了一种多片碲锌镉复合衬底的制备方法，包括以下步骤：A）将多片不规则碲锌镉衬底片进行双面抛光，然后将双面抛光后的碲锌镉衬底片与锗片圆晶进行清洗；B）在真空条件下，采用Ar原子束对清洗后的碲锌镉衬底片和锗片圆晶的键合面进行轰击；C）将轰击后的锗片圆晶和多片碲锌镉衬底片的键合面相接触，进行键合，得到键合后的衬底；D）将键合后的衬底进行退火，得到多片碲锌镉复合衬底。本发明实现尽大限度使用现有碲锌镉单晶区域，提升碲锌镉材料利用率降低碲锌镉衬底使用成本；按照本发明中的方法键合的复合衬底，其传热不存在温度不均匀问题，可提升分子束外延碲锌镉基碲镉汞材料的均匀性和结晶质量。
主权项：1.一种多片碲锌镉复合衬底的制备方法，包括以下步骤：A）将多片不规则碲锌镉衬底片进行双面抛光，然后将双面抛光后的碲锌镉衬底片与锗片圆晶进行清洗；在所述多片不规则碲锌镉衬底片中，任意两片不规则碲锌镉衬底片的厚度差＜3μm；B）在真空条件下，采用Ar原子束对清洗后的碲锌镉衬底片和锗片圆晶的键合面进行轰击；所述步骤B）中的真空度为1×10-8Torr以下；使用Ar原子轰击的射频功率为80~100W，轰击时间为4~6s；C）将轰击后的锗片圆晶和多片碲锌镉衬底片的键合面相接触，利用晶圆键合设备将轰击后的锗片圆晶和多片碲锌镉衬底片进行键合，任意两片碲锌镉衬底片之间的最小间距＞1cm，得到键合后的衬底；D）将键合后的衬底进行退火，得到多片碲锌镉复合衬底；所述退火的温度为500~600℃，所述退火的时间为2~3小时。
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百度查询： 北京智创芯源科技有限公司 一种多片碲锌镉复合衬底、其制备方法及应用
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