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摘要：一种微小曲面共形传感器的制备方法，通过在不规则微小曲面空间上依次制备绝缘层和敏感层，将聚二甲基硅氧烷PDMS作为掩膜，并采用电喷印技术将其精确喷印到敏感层上并图案化，随后刻蚀去除未被掩膜覆盖的敏感层，并保留掩膜层作为传感器的保护层，实现微小空间内传感器图案化结构的共形制造。本发明集成了掩膜制备和保护层制备过程，提高了生产效率，并且能够在非平坦的微小曲面空间内通过共形制造传感器，实现线宽10μm以下的高分辨率，具有重要的实践生产意义。
主权项：1.一种微小曲面共形传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1在待制备传感器的微小曲面上采用聚酰亚胺溶液，制备绝缘层；2在绝缘层上溅射敏感层；3采用电流体喷印技术，将聚二甲基硅氧烷作为掩膜及保护层喷印到敏感层上；4使用湿法刻蚀方法，去除未被掩膜覆盖的敏感层，形成所需的传感器图案；所述图案的线宽在10μm以下。
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百度查询： 厦门大学 一种微小曲面共形传感器的制备方法
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