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基于多取代蒽-1, 9-二羧酰亚胺衍生物的磺酸非离子型产酸剂 

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摘要:本发明属于材料技术领域,具体涉及一类基于多取代蒽‑1,9‑二羧酰亚胺衍生物的磺酸非离子型产酸剂及其光刻胶组合物。所述化合物具有产酸功效,可以作为光刻胶的产酸剂,用来提高光刻胶的灵敏度。

主权项:1.如下式I所示的化合物: 其中:R1、R3、R4相同或不同,彼此独立地选自H,C1-12烷基、C2-12烯基或C2-12炔基;m为1、2、3或4;n为1、2或3;R2选自无取代或任选被一个,两个或更多个Rs取代的下列基团:C1-12烷基、C3-12环烷基、C6-14芳基、C1-12卤代烷基、-C1-12烷基-C6-14芳基、、-C1-12烷基-C3-12环烷基;Rs选自卤素,C1-12烷基,C1-12卤代烷基。

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权利要求:

百度查询: 中国科学院理化技术研究所 基于多取代蒽-1, 9-二羧酰亚胺衍生物的磺酸非离子型产酸剂

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