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摘要：一种用于过滤带电粒子束检测器中的误报的方法包括：利用检测器上检测到的带电粒子着陆事件的空间信息。检测器上检测到的带电粒子着陆事件的空间分布与着陆事件的预期分布进行比较，以确定带电粒子着陆事件是真实的概率。
主权项：1.一种非瞬态计算机可读介质，所述非瞬态计算机可读介质存储指令集，所述指令集能够由设备的至少一个处理器执行，以使所述设备执行方法，所述方法包括：获得带电粒子检测器上检测到的带电粒子入射位置的空间分布信息；将所述空间分布信息与参考分布信息进行比较；以及基于所述比较将值指派给检测到的带电粒子入射位置。
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百度查询： ASML荷兰有限公司 过滤像素化电子检测器的误报的方法
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