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摘要：本申请实施例提供了一种微机电系统芯片、控制方法及相关装置，涉及微机电系统技术领域，用于改善相关技术中微镜器件存在的电压‑位移曲线线性度较差的问题。微机电系统芯片包括驱动电路底座和微镜阵列，微镜阵列包括阵列排布的多个微镜器件，微镜器件包括支撑梁、可动平板电极、固定平板电极、可动斥力电极和固定斥力电极。可动平板电极和固定平板电极相对设置，可动平板电极安装在支撑梁上，并在远离驱动电路底座的一侧为微镜；固定平板电极相对于驱动电路底座固定。可动斥力电极和固定斥力电极相对设置，可动斥力电极安装在支撑梁上，固定斥力电极相对于驱动电路底座固定。上述微机电系统芯片可以应用于显示及光通信装置。
主权项：1.一种微机电系统芯片，其特征在于，所述微机电系统芯片包括驱动电路底座和微镜阵列，所述驱动电路底座包括第一表面，所述微镜阵列设置在所述驱动电路底座中的第一表面上；所述微镜阵列包括阵列排布的多个微镜器件，所述微镜器件包括：支撑梁，所述支撑梁的两端分别通过第一锚点和第二锚点安装在所述驱动电路底座上；在第一方向上相对设置的可动平板电极和固定平板电极，所述第一方向垂直于所述第一表面；所述可动平板电极安装在所述支撑梁上，且在远离所述驱动电路底座的一侧为微镜；所述固定平板电极位于所述驱动电路底座和所述可动平板电极之间，且相对于所述驱动电路底座固定设置；以及在所述第一方向上相对设置的可动斥力电极和固定斥力电极，所述可动斥力电极安装在所述支撑梁上；所述固定斥力电极位于所述驱动电路底座和所述可动斥力电极之间，且相对于所述驱动电路底座固定设置。
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百度查询： 华为技术有限公司 一种微机电系统芯片、控制方法及相关装置
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