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摘要：一种微机电系统器件，包括泵部100、阀部200、进气口310和出气口320，泵部100与阀部200之间有间隔通道330，气体被配置为经过进气口310、泵部100、间隔通道330、阀部200以及出气口320；还包括置物区400，气体被配置为经过置物区400后从出气口320排出；还包括层叠设置的第一基板510、第一电极层610、第二电极层620和第二基板520，第一电极层610和第二电极层620被配置为产生电压差后，距离减小以提供流通气体的第一气体通道或者阻断第一气体通道710；泵部100和阀部200共用第一基板510和第二基板520，第一电极层610包括泵部100的第一电极110和阀部200的第三电极210，第二电极层包括泵部100的第二电极120和阀部200的第四电极220。微机电系统器件通过泵部、阀部和置物区的小型集成化设计，在降低成本的同时实现了气味的自驱动和开关控制。
主权项：一种微机电系统器件，包括：泵部、阀部、进气口以及出气口，所述泵部与所述阀部之间设置有间隔通道，气体被配置为依次经过所述进气口、所述泵部、所述间隔通道、所述阀部以及所述出气口，其中，所述阀部远离所述出气口的一侧和所述阀部内的至少之一设置有置物区，所述气体被配置为经过所述置物区后从所述出气口排出；所述微机电系统器件包括依次层叠设置的第一基板、第一电极层、第二电极层以及第二基板，所述第一电极层与所述第二电极层之间设置有间隔，所述第一电极层和所述第二电极层被配置为产生电压差后，所述第二电极层与所述第一电极层之间的距离减小以提供被配置为流通所述气体的第一气体通道，或者阻断所述第一气体通道；所述泵部和所述阀部共用所述第一基板和所述第二基板，所述泵部包括相对设置的第一电极和第二电极，所述阀部包括相对设置的第三电极和第四电极，所述第一电极层包括所述第一电极和所述第三电极，所述第二电极层包括所述第二电极和所述第四电极，所述第一电极与所述第三电极绝缘设置，和或，所述第二电极与所述第四电极绝缘设置。
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百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方技术开发有限公司 微机电系统器件
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