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摘要：本发明提供了忆阻器及其制作方法。该忆阻器包括：图案化层设置在衬底的一侧，具有至少一个沿第一方向延伸的凹槽；至少一个第一栅极设置在凹槽中；第一介质层覆盖第一栅极，第一介质层内部具有沿第一方向延伸的第一通道，第一通道的中间有效区的正投影位于第一栅极的正投影内，与第一栅极间隔设置；至少一个第二栅极设置在第一介质层远离衬底的一侧，第二栅极的正投影覆盖中间有效区的正投影；第二介质层覆盖第二栅极，具有分别位于第一通道在第一方向上两侧的第二通道和第三通道；源极和漏极设置在第一通道在第一方向上的两侧，且与第一通道间隔设置；盖板覆盖第二介质层。上述忆阻器中可更精准的对生物神经信号进行模拟。
主权项：1.一种忆阻器，其特征在于，包括：衬底；图案化层，所述图案化层设置在所述衬底的一侧，所述图案化层具有至少一个凹槽，所述凹槽的长度方向沿第一方向延伸；至少一个第一栅极，所述第一栅极设置在所述凹槽中；第一介质层，所述第一介质层设置在所述图案化层远离所述衬底的一侧，且覆盖所述第一栅极，所述第一介质层的内部具有长度方向沿所述第一方向延伸的第一通道，所述第一通道的中间有效区在所述衬底上的正投影位于所述第一栅极在所述衬底上的正投影内，且与所述第一栅极间隔设置；至少一个第二栅极，所述第二栅极设置在所述第一介质层远离所述衬底的一侧，且所述第二栅极在所述衬底的上的正投影覆盖所述中间有效区在所述衬底上的正投影；第二介质层，所述第二介质层设置在所述第一介质层远离所述衬底的一侧，且覆盖所述第二栅极，所述第二介质层具有贯穿所述第二介质层且与所述第一通道连通的第二通道和第三通道，所述第二通道和所述第三通道分别位于所述第一通道在所述第一方向上的两侧，所述第二通道和所述第三通道的长度方向沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向相交；源极和漏极，所述源极和所述漏极分别设置在所述第一通道在所述第一方向上的两侧，且与所述第一通道间隔设置；盖板，所述盖板设置在所述第二介质层远离所述衬底的一侧，并覆盖所述第二介质层。
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