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摘要：本实用新型公开了一种立式石英舟。所述立式石英舟包括：相互平行设置的顶板和底板，竖直连接在顶板与底板之间的多根立柱，立柱沿竖直方向间隔设有用于放置硅片的放置槽，在立柱上设置挂板，挂板包括与立柱连接的连接块，安装在连接块上并凸出所述立式石英舟侧面的挂钩，使立式石英舟可以通过挂板挂在扩散炉内。解决了现有技术石英舟放入扩散炉内后稳定性较差的技术问题。
主权项：1.一种立式石英舟，包括相互平行设置的顶板和底板，竖直连接在所述顶板与所述底板之间的多根立柱，所述立柱沿竖直方向间隔设有用于放置硅片的放置槽，其特征在于，还包括安装在所述立柱上的挂板；其中，所述挂板包括与所述立柱连接的连接块，安装在连接块上并凸出所述立式石英舟侧面的挂钩。
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百度查询： 常州捷佳创精密机械有限公司 立式石英舟
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