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摘要：本实用新型涉及一种等离子去胶机的偏压控温载盘，包括陶瓷底环、偏压盘、绝缘连接环、绝缘底盘、隔断环、陶瓷顶环、控温载盘以及油路连接管，所述陶瓷底环和绝缘连接环围合成绝缘框架，所述偏压盘安装于绝缘框架中，所述偏压盘、绝缘底盘以及控温载盘从下到上依次安装连接，控温载盘顶部设有陶瓷顶环，所述陶瓷顶环将控温载盘包覆，所述陶瓷顶环与控温载盘设有间隙空间，所述隔断环安装于间隙空间内；所述油路连接管安装于偏压盘上，所述绝缘底盘设有油路导流口，所述控温载盘设有环形流道槽，当偏压盘、绝缘底盘以及控温载盘组装后，所述油路连接管、油路导流口以及环形流道槽依次连通。
主权项：1.一种等离子去胶机的偏压控温载盘，其特征在于：包括陶瓷底环、偏压盘、绝缘连接环、绝缘底盘、隔断环、陶瓷顶环、控温载盘以及油路连接管，所述陶瓷底环和绝缘连接环围合成绝缘框架，所述偏压盘安装于绝缘框架中，所述偏压盘、绝缘底盘以及控温载盘从下到上依次安装连接，控温载盘顶部设有陶瓷顶环，所述陶瓷顶环将控温载盘包覆，所述陶瓷顶环与控温载盘设有间隙空间，所述隔断环安装于间隙空间内；所述油路连接管安装于偏压盘上，所述绝缘底盘设有油路导流口，所述控温载盘设有环形流道槽，当偏压盘、绝缘底盘以及控温载盘组装后，所述油路连接管、油路导流口以及环形流道槽依次连通。
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