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摘要：本实用新型公开了一种微射流激光设备的夹紧工装，属于激光加工领域，用于夹紧氮化镓切片，包括第一夹具和第二夹具，第一夹具和第二夹具可拆卸连接，氮化镓切片夹紧于第一夹具和第二夹具之间，第一夹具上设有用于与外部真空设备连通的第一吸附孔，第二夹具上设有用于与外部真空设备连通的第二吸附孔，第一吸附孔和第二吸附孔相对设置于氮化镓切片的两侧，从而能够提高氮化镓切片的成品率和成品质量。
主权项：1.一种微射流激光设备的夹紧工装，用于夹紧氮化镓切片，其特征在于，包括第一夹具和第二夹具，所述第一夹具和所述第二夹具可拆卸连接，所述氮化镓切片夹紧于所述第一夹具和所述第二夹具之间；所述第一夹具上设有用于与外部真空设备连通的第一吸附孔，所述第二夹具上设有用于与外部真空设备连通的第二吸附孔，所述第一吸附孔和所述第二吸附孔相对设置于所述氮化镓切片的两侧。
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百度查询： 西安晟光硅研半导体科技有限公司 一种微射流激光设备的夹紧工装
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