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一种适用于硅片脱胶插片一体机分片的缓存结构 

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摘要:本实用新型公开了一种适用于硅片脱胶插片一体机分片的缓存结构,属于硅片生产设备技术领域,针对了硅片生产设备缓存区支撑不稳导致硅片歪斜倒片和硅片互相摩擦造成的崩边、隐裂的问题,包括凹型架,所述凹型架顶部固定连接有多个电动升降杆,多个所述电动升降杆顶部固定连接有底板,所述底板两侧均固定连接有与凹型架相对应的限位滑块,所述底板顶部固定连接有两个安装座,两个所述安装座顶部均固定连接有第一支撑板,本实用新型通过设置第一支撑板和第二支撑板相配合,改变传输受力方式,取消硅片下方皮带传输结构,减少硅片受到的不稳定力,保证了硅片受力的稳定性,同时缓存区结构上采用快拆式结构,更换速度快,成本低,可操作性强。

主权项:1.一种适用于硅片脱胶插片一体机分片的缓存结构,包括凹型架1,其特征在于:所述凹型架1顶部固定连接有多个电动升降杆2,多个所述电动升降杆2顶部固定连接有底板3,所述底板3两侧均固定连接有与凹型架1相对应的限位滑块4,所述底板3顶部固定连接有两个安装座5,两个所述安装座5顶部均固定连接有第一支撑板6,两个所述第一支撑板6顶部均可拆卸连接有第二支撑板7,所述第一支撑板6和第二支撑板7之间设置有快拆机构8,两个所述第二支撑板7顶部均固定连接有防滑套9,所述凹型架1一侧设置有水刀切割机10,所述水刀切割机10顶部安装有电磁滑轨11,所述电磁滑轨11顶部安装有驱动组件12,所述驱动组件12靠近凹型架1一侧安装有水刀刀头13,所述水刀刀头13顶部安装有管道压强数显仪14。

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