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摘要:本实用新型公开了一种可更换喷头的洗边喷头,属于晶圆生产设备技术领域,包括针头和保护帽,所述针头放置在保护帽中;所述针头上固定设置有安装台,所述针头上固定设置有限位台;所述保护帽上开设有让位孔,所述让位孔中开设有安装螺纹,所述让位孔中开设有限位槽;所述针头穿过让位孔,所述限位台放置在限位槽中,本实用新型具有使用过程中操作简便的优点。
主权项:1.一种可更换喷头的洗边喷头,其特征在于:包括针头1和保护帽2,所述针头1放置在保护帽2中;所述针头1上固定设置有安装台3,所述针头1上固定设置有限位台5;所述保护帽2上开设有让位孔8,所述让位孔8中开设有安装螺纹9,所述让位孔8中开设有限位槽10;所述针头1穿过让位孔8,所述限位台5放置在限位槽10中。
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百度查询: 厦门吉顺芯微电子有限公司 一种可更换喷头的洗边喷头
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