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摘要：提供一种在不产生异常放电的情况下使等离子体快速点火的等离子体点火方法。本发明所涉及的等离子体点火方法包括：供给工序，向等离子体生成装置具备的腔室1内供给处理气体；点火工序，对被供给到腔室内的处理气体照射从半导体激光器10射出的激光L，并且对等离子体生成装置具备的用于生成等离子体的线圈2或电极91施加高频电力，来使等离子体点火；停止工序，在等离子体点火之后，停止从半导体激光器射出激光。优选的是，线圈是圆筒状线圈，在点火工序中，从圆筒状线圈的上方朝向圆筒状线圈的下方倾斜地照射激光。
主权项：1.一种等离子体点火方法，其特征在于，包括：供给工序，向等离子体生成装置具备的腔室内供给处理气体；点火工序，对被供给到所述腔室内的所述处理气体照射从半导体激光器射出的激光，并且对所述等离子体生成装置具备的用于生成等离子体的线圈或电极施加高频电力，来使等离子体点火；停止工序，在所述等离子体点火之后，停止从所述半导体激光器射出激光。
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百度查询： SPP科技股份有限公司 等离子体点火方法和等离子体生成装置
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