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摘要：本发明的静电卡盘装置1具备：多个内部电极20；绝缘性有机膜40，设置于内部电极20的厚度方向上的两面侧；以及陶瓷层60，隔着中间层50层叠于至少包括内部电极20和绝缘性有机膜40的层叠体2的厚度方向上的上表面2a。
主权项：1.一种静电卡盘装置，其特征在于，具备：多个内部电极；绝缘性有机膜，设置于该内部电极的厚度方向上的两面侧；以及陶瓷层，隔着中间层层叠于至少包括所述内部电极和所述绝缘性有机膜的层叠体的厚度方向上的上表面，所述中间层包括：有机绝缘性树脂及无机绝缘性树脂中的至少一方、以及无机填充剂及纤维状填充剂中的至少一方，所述绝缘性有机膜由设置于所述内部电极的厚度方向上的下表面侧的第一绝缘性有机膜和设置于所述内部电极的厚度方向上的上表面侧的第二绝缘性有机膜构成，在所述第一绝缘性有机膜的与所述内部电极相反一侧的表面上设置第一粘接剂层，在所述第一绝缘性有机膜以及设置于所述第一绝缘性有机膜的厚度方向上的上表面侧的所述内部电极与所述第二绝缘性有机膜之间设置第二粘接剂层，所述第一粘接剂层的厚度、所述第一绝缘性有机膜的厚度、所述内部电极的厚度、所述第二粘接剂层的厚度、所述第二绝缘性有机膜的厚度、所述中间层的厚度以及所述陶瓷层的厚度的合计为200μm以下。
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百度查询： 巴川集团股份有限公司 静电卡盘装置
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