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摘要：本发明提供了一种抛光垫粘贴用载体及粘贴方法，属于晶片抛光技术领域，解决了现有技术抛光垫粘接时容易产生气泡凸起的问题。本发明包括支撑座；固定组件，固定组件包括固定件，固定件用于连接抛光垫的边缘部，固定件设置于支撑座上，且固定件具有移动自由度以移动拉伸抛光垫；以及流体供给组件，流体供给组件包括：储液件，储液件设置于支撑座内，储液件用于储液；喷管设置于支撑座内且与储液件通过阀门连接；喷孔设置于支撑座上且与喷管连通，用于供液体喷出至抛光垫。本发明利用支撑座上的流体供给组件向抛光垫喷射液体，抛光垫受液体冲击而紧贴于抛光盘上，从而防止抛光垫与抛光盘之间产生间隙，即降低了二者之间的气泡凸起生成率。

主权项：1.一种抛光垫粘贴用载体，其特征在于，包括：支撑座100，所述支撑座100具有承载面110，所述承载面110用于承载抛光垫M，所述承载面110以自身中心点由内向外设置有多个喷液区111，所述喷液区111设有多个喷孔330；固定组件200，所述固定组件200包括固定件210，所述固定件210用于连接抛光垫M的边缘部m，所述固定件210设置于所述支撑座100上，且所述固定件210具有移动自由度以移动拉伸抛光垫M；以及流体供给组件300，所述流体供给组件300包括：储液件310，所述储液件310设置于支撑座100内，所述储液件310用于储液；喷管320，所述喷管320设置于所述支撑座100内且与所述储液件310通过阀门301连接；喷孔330，所述喷孔330设置于所述支撑座100上且与所述喷管320连通，用于供液体喷出至抛光垫M；还包括温控组件400，所述温控组件400包括加热单元410和制冷单元420，所述加热单元410和所述制冷单元420分别作用于不同的所述喷孔330以调控温度，所述喷液区111包括第一控温圈1111、第二控温圈1112以及第三控温圈1113，所述第一控温圈1111下方具有所述加热单元410，所述第二控温圈1112下方具有所述加热单元410和所述制冷单元420，所述第三控温圈1113下方具有所述制冷单元420。

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