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摘要：本申请涉及气敏材料技术领域，特别涉及一种气敏材料、气体传感器、其制备方法和应用。该气敏材料材质为双金属金属Sm和金属Pd修饰的半导体材料SnO2，采用凝胶溶胶法制备Sm2O3掺杂的SnO2；然后加入含Pd材料混合煅烧。该气体传感器包括MEMS芯片，和分布于MEMS芯片的叉指电极之上的气敏材料。本申请的气敏材料、气体传感器、其制备方法具有更高的灵敏度、响应恢复时间短、选择性良好，可用于乙炔气体的选择性检测。
主权项：1.一种乙炔气敏材料，其特征在于，所述乙炔气敏材料通过包括如下步骤的方法制得：S100：取Sm盐和Sn盐混合，加溶剂溶解，制得SmSn盐溶液；所述SmSn盐溶液中含有Sn和Sm的摩尔比为30～35:1；S200：将沉淀剂加入到所述SmSn盐溶液中进行沉淀反应，分离出沉淀物；所述沉淀剂为氨水溶液，其中含有NH3·H2O和水的体积为0.8～1.2：1；所述沉淀反应的溶液条件为pH＝8.5～9.5；S300：所述沉淀物经第一干燥处理后，经第一煅烧处理，获得Sm2O3掺杂的SnO2，记为Sm2O3@SnO2；所述第一干燥的温度为50℃～70℃，时间为10h～14h；所述第一煅烧的温度为500℃～700℃，时间为0.5h～2h；S400：取Pd盐、所述Sm2O3@SnO2和水混合，超声分散得到Pd盐Sm2O3@SnO2分散液，分离出所述Pd盐Sm2O3@SnO2分散液中的固体；所述Pd盐中含有元素Pd和所述Sm2O3@SnO2的摩尔重量比为1mmol：15～16g；所述超声分散的时间为20min～50min；S500：所述固体经第二干燥处理后，经第二煅烧处理，获得所获乙炔气敏材料；所述第二干燥的温度为80℃～100℃，时间为10h～14h；所述第二煅烧的温度为600℃～800℃，时间为0.5h～2h。
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