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摘要：本文描述的实施例涉及用于在处理内重复定位基座的精确动态调平机构。精密动态调平机构包括轴承组件。具有抵靠基座组件支架的内座圈和抵靠导向配接器的外座圈的轴承组件在内座圈与外座圈之间提供标称间隙，以允许内座圈和外座圈在最小或没有径向运动的情况下彼此滑动。
主权项：1.一种提升组件，包括：底部托架；基座组件支架，所述基座组件支架被配置为支撑基座组件，所述基座组件包括杆和基座；以及三个或更多个伺服电动机组件，所述伺服电动机组件每一个经由枢轴关节附接到所述底部托架并通过三个或更多个轴承组件附接到所述基座组件支架，每个轴承组件包括：导向配接器，所述导向配接器连接到导向致动器和所述提升组件的所述基座组件支架，所述导向配接器具有第一凹槽和第二凹槽；以及螺栓和弹簧，所述螺栓和所述弹簧插入穿过所述导向配接器中的所述第一凹槽，以将轴承连接到所述基座组件支架，所述轴承具有内座圈和外座圈，所述内座圈抵靠所述基座组件支架，并且所述外座圈完全定位在所述导向配接器中的所述第二凹槽内并且抵靠所述导向配接器。
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百度查询： 应用材料公司 具有长运动能力的精确动态调平机构
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