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摘要：本发明属于晶圆制造设备领域，具体地说是一种带磁力耦合PIN的增粘单元。包括盘盖、盘体与贯穿盘体的PIN组件，还包括设有外磁环的外磁环固定座以及分隔管，且PIN组件上设有内磁环。设有外磁环的外磁环固定座由动力源驱动上下移动，同时通过磁力耦合作用带动设有内磁环的PIN组件上下移动。本发明通过设有外磁环的外磁环固定座、设有内磁环的PIN组件以及分隔管的配合设置，起到保证盘盖和盘体构成的工艺腔体的不与外界相通的密封作用，且密封效果不会受到PIN组件上下运动的影响而产生磨损变差，延长了增粘单元的维护时间间隔和使用寿命，运行可靠。
主权项：1.一种带磁力耦合PIN的增粘单元，包括盘盖001、盘体002与贯穿盘体002的PIN组件003，其特征在于：所述PIN组件003的外部套设有密封固定在盘体002上的分隔管1，所述PIN组件003的上端为与晶圆的接触端、始终位于所述分隔管1内的下端沿轴向设有若干个内磁环2，所有所述内磁环2的磁极设置方向相同，所述内磁环2之间设有套设在所述PIN组件003上、用于分隔所述内磁环2的内磁环隔环3，所述分隔管1的内腔与盘盖001和盘体002构成的工艺腔体相连通，所述分隔管1远离盘体002的开口为密封结构；所述分隔管1的外部套设有外磁环固定座4，所述外磁环固定座4的内壁上沿轴向设有若干个外磁环5，所有所述外磁环5的磁极设置方向相同，且所述外磁环5的磁极设置方向与所述内磁环2的磁极设置方向相反、并能够相互吸引，相邻所述外磁环5之间设有起到分隔作用的外磁环隔环6；设有所述外磁环5的所述外磁环固定座4由动力源驱动上下移动，同时通过磁力耦合作用带动设有所述内磁环2的PIN组件003上下移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 一种带磁力耦合PIN的增粘单元
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