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一种并联多轨涂布设备及涂布方法 

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摘要:本发明公开了一种并联多轨涂布设备及涂布方法,并联多轨涂布设备包括:多个环形轨道、多个涂布平台、涂布组件、上料组件和下料组件。多个涂布平台分别在其中一个环形轨道上循环运动,涂布组件包括支架和涂布模头,涂布模头对基板进行涂布,上料组件和下料组件用于上下料。其中,当涂布模头对位于涂布工位的基板进行涂布时,位于涂布工位的涂布平台上的基板与相邻的涂布平台上的待涂布基板贴靠设置。涂布模头上设置有多个出料狭缝并分别同时对多个位于涂布工位的基板进行涂布。并联多轨涂布设备能够同时对多个基板进行连续涂布,不仅提高了钙钛矿太阳能电池的产能,而且降低了涂布设备的成本和占用空间,从而降低了生产成本。

主权项:1.一种并联多轨涂布设备,其特征在于,包括:多个环形轨道,多个所述环形轨道并排设置;多个涂布平台,所述涂布平台用于放置基板,多个所述涂布平台分别在其中一个所述环形轨道上循环运动;涂布组件,所述涂布组件包括支架和设置于所述支架上的涂布模头,所述涂布模头设置于所述环形轨道的上方,所述涂布平台带动所述基板沿涂布方向相对所述涂布模头移动,所述涂布模头对所述基板进行涂布;上料组件和下料组件,所述上料组件用于将待涂布的基板转移到所述涂布平台上,所述下料组件用于将已涂布的基板从所述涂布平台上转移;其中,当所述涂布模头对位于涂布工位的基板进行涂布时,位于所述涂布工位的涂布平台上的基板与相邻的涂布平台上的待涂布基板贴靠设置;所述涂布模头朝向所述基板的一侧设置有多个出料狭缝,所述出料狭缝与所述环形轨道一一对应设置,多个所述出料狭缝分别同时对多个位于所述涂布工位的基板进行涂布;所述出料狭缝的涂布宽度大于对应的所述基板的宽度,所述出料狭缝的两端设置有掩膜组件,所述掩膜组件用于供超出所述基板宽度的出料狭缝出液涂布,所述掩膜组件包括单边掩膜组件和双边掩膜组件,两个所述单边掩膜组件分别靠近所述涂布模头的两端设置,并用于供位于涂布模头两端的出料狭缝出液涂布,所述双边掩膜组件设置于相邻所述环形轨道之间,并用于供相邻出料狭缝共同出液涂布。

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