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摘要：本申请公开了一种退火设备的监控装置、监控方法和调控系统，属于半导体工艺设备技术领域。其中，监控装置包括：厚度测量器，用于测量芯片在退火前的第一厚度和芯片在退火后的第二厚度；监控器，与厚度测量器电连接，用于计算第一厚度与第二厚度的第一差值，并判断第一差值是否处于阈值范围内。本申请的技术方案实现了对退火设备实际温度的实时监控，从而提高了芯片产线的可靠性。
主权项：1.一种退火设备的监控装置，其特征在于，包括：厚度测量器，用于测量芯片在退火前的第一厚度和所述芯片在退火后的第二厚度；监控器，与所述厚度测量器电连接，所述监控器用于计算所述第一厚度与所述第二厚度的第一差值，并判断所述第一差值是否处于阈值范围内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽长飞先进半导体股份有限公司 退火设备的监控装置、监控方法和调控系统
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