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一种防爬电氮化铝板及其防爬电除边废工艺 

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摘要:本发明公开了一种防爬电氮化铝板及其防爬电除边废工艺,涉及陶瓷覆铜载板技术领域,解决激光切割氮化硅板后会出现爬电现象的问题。本发明实施例的一种氮化铝板的防爬电除边废工艺,包括氮化铝板主体和激光切割器,以及具有流体喷射口的射流结构,包括步骤:驱使激光切割器的工作区沿预设路径在氮化铝板主体板面的预设开槽区行进,在预设开槽区形成跟随激光切割器的工作区移动的开槽气化区、切割槽未固化区,以及不断冷却固化成型的切割槽固化区;利用射流结构的流体喷射口向开槽气化区或和切割槽未固化区喷射出用于冲走未固化氧化铝的高压水束,获得在切割槽固化区内去除了氧化铝的氮化铝板主体;流体喷射口的流体喷射压力范围为:120Mpa至200Mpa。

主权项:1.一种氮化铝板的防爬电除边废工艺,其特征在于,包括氮化铝板主体(1)和激光切割器(2),以及具有流体喷射口的射流结构(3),所述除边废工艺包括步骤S1、激光开盲槽工序,激光开盲槽工序包括以下步骤:驱使激光切割器(2)的工作区沿预设路径在氮化铝板主体(1)板面的预设开槽区(11)行进,在预设开槽区(11)形成跟随激光切割器(2)的工作区移动的开槽气化区(111)、切割槽未固化区(112),以及不断冷却固化成型的切割槽固化区(113);利用射流结构(3)的流体喷射口向开槽气化区(111)或和切割槽未固化区(112)喷射出用于冲走未固化氧化铝的高压水束(31),获得在切割槽固化区(113)内去除了氧化铝的氮化铝板主体(1);所述流体喷射口的流体喷射压力范围为:120Mpa至200Mpa。

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