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摘要：本公开提供一种压力及加速度监测芯片及其制备方法、车辆，属于微机电机械系统技术领域。本公开的压力及加速度监测芯片包括：压力传感器和加速度传感器；压力传感器包括：第一固定极板和第一可动极板；第一固定极板和第一可动极板至少部分相对设置；加速度传感器包括：第二固定极板和第二可动极板；第二固定极板和第二可动极板至少部分相对设置；压力传感器还包括：压力参考腔；加速度传感器还包括：应力释放腔；压力参考腔嵌入应力释放腔内，且二者之间设置有缓冲空间；压力参考腔包括：第一固定极板和第一可动极板；第二固定极板固定于应力释放腔且向靠近压力参考腔的方向延伸；第二可动极板固定于压力参考腔且向靠近应力释放腔的方向延伸。
主权项：1.一种压力及加速度监测芯片，其特征在于，所述压力及加速度监测芯片包括：压力传感器和加速度传感器；所述压力传感器包括：第一固定极板和第一可动极板；所述第一固定极板和所述第一可动极板至少部分相对设置；所述加速度传感器包括：第二固定极板和第二可动极板；所述第二固定极板和所述第二可动极板至少部分相对设置；所述压力传感器还包括：压力参考腔；所述加速度传感器还包括：应力释放腔；所述压力参考腔嵌入所述应力释放腔内，且二者之间设置有缓冲空间；所述压力参考腔包括：所述第一固定极板和所述第一可动极板；所述第二固定极板固定于所述应力释放腔且向靠近所述压力参考腔的方向延伸；所述第二可动极板固定于所述压力参考腔且向靠近所述应力释放腔的方向延伸。
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百度查询： 北京京东方传感技术有限公司 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方技术开发有限公司 压力及加速度监测芯片及其制备方法、车辆
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