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摘要：本申请涉及一种悬臂梁氢气传感器及其校准方法、氢气检测系统。该悬臂梁氢气传感器中：衬底形成有一凹槽；两个对称设置的悬臂梁结构设于衬底上，且位于凹槽上方；第一气敏薄膜和第一加热电极设置于其中一个悬臂梁结构背离凹槽的一侧，且第一气敏薄膜包括钯合金材料；第二气敏薄膜和第二加热电极设置于另一个悬臂梁结构背离凹槽的一侧，且第二气敏薄膜包括贵金属修饰金属氧化物薄膜；其中，第一加热电极接入第一气敏薄膜的最佳加热温度对应的第一电压，第二加热电极接入第二气敏薄膜的最佳加热温度对应的第二电压，以经第一气敏薄膜和第二气敏薄膜输出表征环境氢气浓度的信号，灵敏度和精度高。
主权项：1.一种悬臂梁氢气传感器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底形成有一凹槽；两个对称设置的悬臂梁结构，设于所述衬底上，且位于所述凹槽上方；第一气敏薄膜和第一加热电极，均设置于其中一个悬臂梁结构背离凹槽的一侧，且所述第一气敏薄膜包括钯合金材料；第二气敏薄膜和第二加热电极，均设置于另一个悬臂梁结构背离所述凹槽的一侧，且所述第二气敏薄膜包括贵金属修饰金属氧化物薄膜；其中，第一加热电极接入所述第一气敏薄膜的最佳加热温度对应的第一电压，所述第二加热电极接入所述第二气敏薄膜的最佳加热温度对应的第二电压，以经所述第一气敏薄膜和所述第二气敏薄膜输出表征环境氢气浓度的信号；所述第一气敏薄膜的最佳加热温度为60℃—80℃范围内的温度，所述第二气敏薄膜的最佳加热温度为大于等于150℃的温度。
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