龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及数据处理技术领域，尤其涉及一种降低晶片表面颗粒度的清洁方法及系统。方法包括步骤：采集温度数据，获取每个温度数据的可信度，并对每个温度数据的可信度进行修正，得到每个温度数据的修正可信度，获取每个类的加权平均结果以及获取每个类的直径，根据每个类的直径的获取方法，使用费希尔最优求解法将温度数据序列划分为各个类；获取每个类的滤波窗口，根据每个类的滤波窗口，使用高斯滤波算法对温度数据进行清洗，得到清洗后的温度数据，根据清洗后的温度数据与设定的温度范围实现对晶片清洗过程中的温度数据的控制，本发明避免了噪声数据的影响，提高了分段效果，进而提高了数据清洗效率及晶片清洗过程中温度控制的精度。
主权项：1.一种降低晶片表面颗粒度的清洁方法，其特征在于，包括步骤：采集温度数据，获取每个温度数据的修正可信度；获取每个类的加权平均结果；代表第k个类的加权平均结果；代表第k个类中温度数据的个数；代表第k个类中第v个温度数据的值；代表第k个类中第v个温度数据的修正可信度；代表第k个类中所有温度数据的修正可信度之和；获取每个类的直径；代表第k个类的直径；根据每个类的直径的获取方法，使用费希尔最优求解法将温度数据序列划分为各个类；获取每个类的滤波窗口；根据每个类的滤波窗口，使用高斯滤波算法对温度数据进行清洗，得到清洗后的温度数据，根据清洗后的温度数据与设定的温度范围实现对晶片清洗过程中的温度数据的控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛华芯晶电科技有限公司 青岛晶杰光电科技有限公司 一种降低晶片表面颗粒度的清洁方法及系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号