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摘要:本发明提供一种二元合金涂层制备方法,包括:S1、通过第一材料靶材和第二材料靶材对长条状溅射基体进行第一溅射,得到第一二元合金样品;S2、基于第一二元合金样品,确定第一材料含量的第一比例范围;S3、基于合金靶材以及第二材料靶材,通过合金靶材和第二材料靶材对长条状溅射基体进行第二溅射,得到第二二元合金样品;S4、基于第二二元合金样品,确定第二二元合金样品中第一材料含量的第二比例范围;S5、基于第一材料含量的第二比例范围,在目标溅射基体上制备二元合金涂层,得到二元合金涂层成品。本发明可以解决现有涂层制备方法不能准确地筛选出最佳的二元合金涂层成分比例的问题。
主权项:1.一种二元合金涂层制备方法,其特征在于,所述二元合金涂层制备方法包括:S1、通过第一材料靶材和第二材料靶材对长条状溅射基体进行第一溅射,得到第一二元合金样品,所述第一材料在高温氧化时产生第一材料氧化物,所述第一二元合金样品上的第一材料含量按连续梯度分布;S2、基于所述第一二元合金样品,确定所述第一材料含量的第一比例范围;S3、基于合金靶材以及所述第二材料靶材,通过所述合金靶材和所述第二靶材对所述长条状溅射基体进行第二溅射,得到第二二元合金样品,所述合金靶材由所述第一材料和所述第二材料制备得到,所述第二二元合金样品上的第一材料含量在所述第一比例范围内按连续梯度分布;S4、基于所述第二二元合金样品,确定第二二元合金样品中第一材料含量的第二比例范围;S5、基于所述第一材料含量的第二比例范围,在目标溅射基体上制备二元合金涂层,得到二元合金涂层成品。
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权利要求:
百度查询: 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 一种二元合金涂层制备方法
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