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一种三维角分辨光谱成像装置及方法 

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摘要:本发明涉及显微角分辨光谱测量的技术领域,更具体地,涉及一种三维角分辨光谱成像装置及方法,包括激发光模块、显微成像模块和采集模块;激发光模块包括激光光源、第一凸透镜、针孔滤波器、第二凸透镜、第一反射镜和第三凸透镜;显微成像模块包括第二半透半反镜、4f系统、物镜和样品台;经第三凸透镜聚焦再经第二半透半反镜反射的光束的焦点位于4f系统的后焦面,4f系统的前焦面与物镜的后焦面重合,样品台位于物镜的前焦面;采集模块包括的狭缝、第二反射镜、光学平板结构、非球面镜和光电阵列探测器;4f系统的后焦点位于狭缝,第一反射镜、狭缝、光学平板结构、非球面镜和光电阵列探测器可转动,可快速地重构三维角分辨光谱。

主权项:1.一种三维角分辨光谱成像装置,其特征在于,包括激发光模块、显微成像模块和采集模块;所述激发光模块包括顺次设置的激光光源1、第一凸透镜2、针孔滤波器3、第二凸透镜4、第一反射镜7和第三凸透镜8;所述针孔滤波器3位于所述第一凸透镜2的焦点位置和所述第二凸透镜4的焦点位置;所述第一反射镜7可转动;所述显微成像模块包括顺次设置的第二半透半反镜11、4f系统、物镜14和样品台15;经所述第三凸透镜8聚焦再经所述第二半透半反镜11反射的光束的焦点位于所述4f系统的后焦面,所述4f系统的前焦面与所述物镜14的后焦面重合,所述样品台15位于所述物镜14的前焦面;所述采集模块包括顺次设置的狭缝16、第二反射镜17、光学平板结构20、非球面镜21和光电阵列探测器22;所述4f系统的后焦点位于所述狭缝16,所述狭缝16可转动,所述光学平板结构20、非球面镜21和光电阵列探测器22可转动。

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