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摘要：本发明涉及微机电系统技术领域，提供一种金属MEMS振镜，包括外壳体单元，外壳体单元内部设有组合式磁铁，组合式磁铁一侧设有控制反馈板，外壳体单元一侧设有金属镜面，金属镜面设有反射区域，反射区域四周设有两组扭转梁和一组外框，金属镜面的一侧设有线圈单元，线圈单元设有出线，线圈单元与控制反馈板电性连接，金属镜面与外壳体单元电性连接，控制反馈板与外壳体单元电性连接。本申请利用成熟稳定金属物料，提高MEMS振镜可靠性及性能，进一步降低成本；将多个组件堆叠组合，有效缩小结构体积；利用结构多处限位，保证机械性能稳定。
主权项：1.一种金属MEMS振镜，其特征在于，包括：外壳体单元，所述外壳体单元内部设有组合式磁铁；所述组合式磁铁一侧设有控制反馈板；所述外壳体单元一侧设有金属镜面；所述金属镜面的一侧设有线圈单元；所述线圈单元设有出线；所述线圈单元与所述控制反馈板电性连接，所述金属镜面与所述外壳体单元电性连接，所述控制反馈板与所述外壳体单元电性连接。
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百度查询： 洛伦兹(宁波)科技有限公司 一种金属MEMS振镜
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