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摘要：本发明公开了一种制备电子级氨水的方法，属于电子级氨水技术领域。通过对工业级液氨，经精馏、低温汽化、除湿干燥、过滤、超纯水吸收、多膜组膜过滤器过滤，来制备超高纯度电子级氨水。本发明制备的改性聚四氟乙烯滤膜，通过交联联吡啶和卟啉官能团的引入大大增加了聚四氟乙烯滤膜的功能性，特别是对于金属离子的螯合能力；这种改性使得滤膜在去除电子级氨水中的金属离子杂质方面表现出极高的效率；本发明制备的电子级氨水，纯度高达99.99999999％，金属离子含量低于1ppt，可满足半导体级G6要求。
主权项：1.一种制备电子级氨水的方法，其操作步骤为：S1：将工业级液氨，经精馏来制备高纯度的液氨；S2：将高纯度液氨在高纯特制汽化设备内低温汽化，得到气氨；S3：将气氨经过除湿装置，初步处理氨气中的雾状氨和水分，得到干燥的氨气；S4：将干燥后氨气，经过多级特性膜组膜过滤设备去除干燥氨气中的杂质和颗粒，得到高纯度电子级氨气；S5：用超纯水对高纯度氨气进行吸收，高纯氨气与循环的电子级氨水在特质混合反应器内进行反应，制得高纯电子级氨水；S6：高纯度电子级氨水在经过多膜组膜过滤器处理颗粒杂质，制得超高纯度电子级氨水。
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百度查询： 中巨芯(湖北)科技有限公司 一种制备电子级氨水的方法
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