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摘要：本发明属于流量传感器技术领域，具体涉及一种基于压电微机械超声换能器的流量传感器，包括：双通道流量传感器和收发一体流量传感器，所述双通道流量传感器和收发一体流量传感器均测量管道中流体流量；所述双通道流量传感器由第一发射单元压电微机械超声换能器、第一接收单元压电微机械超声换能器、第一高压发射电路模块、第一放大滤波电路模块、第一转换器、第一微控制单元及第一电源模块组成。本发明提供了一种利用压电微机械超声换能器组成的流量传感器，利用压电MEMS技术可大大减小超声流量传感器的体积和功耗，针对电池供电场合，本发明的压电微机械超声换能器流量传感器更适用，超低功耗相比传统可大幅度提升工作时间。
主权项：1.一种基于压电微机械超声换能器的流量传感器，其特征在于，包括：双通道流量传感器和收发一体流量传感器，所述双通道流量传感器和收发一体流量传感器均测量管道中流体流量；所述双通道流量传感器由第一发射单元压电微机械超声换能器、第一接收单元压电微机械超声换能器、第一高压发射电路模块、第一放大滤波电路模块、第一转换器、第一微控制单元及第一电源模块组成；所述收发一体流量传感器由发射和接收单元压电微机械超声换能器、模拟开关通道选择、第二高压发射电路模块、第二放大滤波电路模块、第二转换器、第二微控制单元及第二电源模块组成；所述第一发射单元压电微机械超声换能器、第一接收单元压电微机械超声换能器和发射和接收单元压电微机械超声换能器均由保护层、上电极、ScAIN薄膜、下电极、基板、硅基底和振腔组成，所述保护层上下设置，且在所述保护层之间从下到下依次设有ScAIN薄膜、基板和硅基底，所述ScAIN薄膜的上下侧分别贯穿插接有上电极和下电极。
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百度查询： 中电科芯片技术(集团)有限公司 一种基于压电微机械超声换能器的流量传感器
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