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摘要:本发明提供一种多晶硅渣浆的回收系统和方法。该系统包括包括除钛蒸发釜、除钛蒸发塔以及冷凝器;所述除钛蒸发釜的气相出口与所述除钛蒸发塔的入口连通,所述除钛蒸发塔的顶部出口与所述冷凝器的入口连通;所述除钛蒸发釜中至少包括渣浆处理产生的高沸物。该系统可以高效去除渣浆中的Ti杂质,降低回收氯硅烷中的Ti杂质含量,提高资源利用率。
主权项:1.一种多晶硅渣浆的回收系统,其特征在于,包括除钛蒸发釜、除钛蒸发塔以及冷凝器;所述除钛蒸发釜的气相出口与所述除钛蒸发塔的入口连通,所述除钛蒸发塔的顶部出口与所述冷凝器的入口连通;所述除钛蒸发釜中至少包括渣浆处理产生的高沸物。
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