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摘要：一种n型GaN基板，其具有两个主面，所述n型GaN基板掺杂有Ge，载流子浓度的平均值为1×1018cm‑3以上，在至少一个主面上从中心起半径15mm的圆区域内均匀地取测定点来测定载流子浓度时，满足选自由（1）～（3）构成的组中的至少一个，这样的n型GaN基板具有高载流子浓度，且面内的载流子浓度分布均匀：（1）经过上述中心的0度、45度、90度、135度方向的直线上的测定点处的测定值的标准差平均值为0.25以下；（2）载流子浓度为2×1018cm‑3以上的测定点的数量相对于测定点的总数的比率为90%以上；（3）示出全部测定点处的测定值中的最大值的（A）60%以下（B）50%以下（C）40%以下的值的测定点的数量相对于测定点的总数的比率为（A）10%以下（B）9%以下（C）8%以下。

主权项：1.一种n型GaN基板，其具有两个主面，所述n型GaN基板包含Ge作为施主杂质，载流子浓度的平均值为1×1018cm-3以上，在所述两个主面中的至少一个主面上，画出线段的中点与所述主面的中心一致的长度30mm的线段即线段A和线段的中点与所述主面的中心一致且与线段A正交的长度30mm的线段即线段B，对于将线段A和线段B作为两个轴而设定的0.5mm间隔的正方晶格点，将位于从所述主面的中心起半径15mm的圆区域内的所述正方晶格点作为测定点来测定载流子浓度时，满足选自由以下（1）、（2）以及（3）构成的组中的至少一个：（1）位于线段A、线段B、以及作为线段A与线段B所成的角的二等分线的两条线段上的全部测定点处的载流子浓度的平均值和标准差满足下述式（i）的关系：标准差平均值≤0.25……（i）；（2）载流子浓度为2×1018cm-3以上的测定点的数量相对于测定点的总数的比率为90%以上；（3）满足选自由下述条件（A）、（B）以及（C）构成的组中的至少一个：（A）示出全部测定点处的测定值中的最大值的60%以下的值的测定点的数量相对于测定点的总数的比率为10%以下；（B）示出全部测定点处的测定值中的最大值的50%以下的值的测定点的数量相对于测定点的总数的比率为9%以下；以及（C）示出全部测定点处的测定值中的最大值的40%以下的值的测定点的数量相对于测定点的总数的比率为8%以下。

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百度查询： 三菱化学株式会社 n型GaN基板以及n型GaN晶体