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摘要：本发明涉及蚀刻溶液技术领域，具体而言，涉及无残留的银蚀刻液及其制备方法、蚀刻方法和应用，该蚀刻液按照质量百分数计包括：30.00wt％～40.00wt％的磷酸，10.00wt％～20.00wt％柠檬酸，5.00wt％～10.00wt％的硝酸，10.00wt％～20.00wt％的磺酸，0.10wt％～5.00wt％的亚硝基酸盐，余量为水。相应的制备方法包括将硝酸、柠檬酸和磷酸混合；再将亚硝基酸盐溶于水中，并加入磺酸和前述混合酸，搅拌。该蚀刻液能够改善蚀刻性能不稳定导致蚀刻不完全、银残留、过刻蚀、刻蚀不均匀和银蚀刻速率在使用寿命期间不稳定的问题；该制备方法简单、易操作。对应的蚀刻方法简单、易操作。
主权项：1.一种无残留的银蚀刻液，其特征在于，所述无残留的银蚀刻液按照质量百分数计包括：30.00wt％～40.00wt％的磷酸；10.00wt％～20.00wt％柠檬酸；5.00wt％～10.00wt％的硝酸；10.00wt％～20.00wt％的磺酸；0.10wt％～5.00wt％的亚硝基酸盐；余量为水。
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百度查询： 上海盛剑微电子有限公司 无残留的银蚀刻液及其制备方法、蚀刻方法和应用
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