龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明属于白光干涉测量领域，具体公开了一种白光干涉仪快速自动对焦和确定扫描范围的系统和方法，在常规的白光干涉仪中额外引入一个低相干光源和反射光路用于自动对焦功能；采用光谱相对较窄的红外光源作为粗对焦的光源，利用参考臂和样品臂光程相等时光强最强的特点，快速准确地找到聚焦位置；再利用白光光源相干长度短，只有在等光程位置附近才能观察到干涉条纹的特点，结合对成像和干涉系统的精确电动控制，能够快速、精准地完成自动对焦，对焦空间分辨率达到微米级。
主权项：1.一种白光干涉仪快速自动对焦和确定扫描范围的系统，包括白光干涉仪，所述白光干涉仪包括固定支架、设置于固定支架底部的用于放置待测样品的载物台、设置于固定支架顶部的Z轴移动机构、设置于第一Z轴移动机构前端的安装框、设置于安装框顶端的CCD面阵相机、与CCD面阵相机连接的PC主机、设置于CCD面阵相机下方的第一聚焦透镜、设置于第一聚焦透镜下方的第一分光镜、设置于第一分光镜下方的压电驱动器、安装在压电驱动器下方的干涉物镜、设置于第一分光镜一侧的第二分光镜、设置于第二分光镜上方的第二聚焦透镜、设置于第二聚焦透镜上方的白光光源；其特征在于：所述安装框内设有自动对焦模块，所述自动对焦模块包括设置于第二分光镜一侧的第一准直镜、设置于第一准直镜的光入射端的光纤耦合器、分别设置于光纤耦合器的光入射端的低相干红外光源和光电探测器、设置于光纤耦合器的光出射端的第二准直镜、设置于第二准直镜的光出射端的参考反射镜、设置于参考反射镜一侧的用于驱动参考反射镜上下移动的第二Z轴移动机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佛山大学 一种白光干涉仪快速自动对焦和确定扫描范围的系统和方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号