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利用带电粒子显微镜的现场辅助图像采集方法和系统 

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摘要:一种对样品进行成像的方法包括利用带电粒子显微镜系统在第一成像条件下采集该样品的区域的一个或多个第一图像。将该一个或多个第一图像应用于经训练的机器学习模型的输入以获得指示该样品的该区域中的原子结构概率的预测图像。响应于获得该预测图像,使得基于该预测图像中的该原子结构概率显示指示该样品的该区域中的原子位置的增强图像。

主权项:1.一种利用带电粒子显微镜系统对样品进行成像的方法,所述方法包括:利用所述带电粒子显微镜系统在第一成像条件下采集所述样品的区域的一个或多个第一图像;将所述一个或多个第一图像应用于经训练的机器学习模型的输入以获得指示所述样品的所述区域中的原子结构概率的预测图像;以及响应于获得所述预测图像,使得基于所述预测图像中的所述原子结构概率显示指示所述样品的所述区域中的原子位置的增强图像。

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权利要求:

百度查询: FEI公司 利用带电粒子显微镜的现场辅助图像采集方法和系统

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