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摘要：系统和方法被描述用于控制在样本之间引入到剥蚀单元的吹扫气体流以去除大气气体。系统实施例包括但不限于：喷雾室，所述喷雾室包括喷雾室本体、配置为从激光剥蚀样本单元接收气体的转移气体入口、配置为将气体从喷雾室转移到电感耦合等离子体炬的第一出口管线以及联接到喷雾室本体的第二出口管线，第二气体出口具有比第一出口管线的内部横截面积更大的内部横截面积；以及与第二出口管线流体联接的阀，阀配置为至少在配置为允许转移气体通过第二出口管线的打开配置构造和配置为防止气体通过第二出口管线转移的关闭配置构造之间转换。
主权项：1.一种用于控制来自激光剥蚀单元的气体流的系统，包括：电感耦合等离子体炬，所述电感耦合等离子体炬配置为使来自激光剥蚀样本单元的气体的至少一部分离子化；与电感耦合等离子体炬流体联接的喷雾室，所述喷雾室包括喷雾室本体，转移气体入口，所述转移气体入口联接到喷雾室本体并配置为接收来自激光剥蚀样本单元的气体，第一出口管线，所述第一出口管线联接到喷雾室本体并配置为将气体从喷雾室转移到电感耦合等离子体炬，以及第二出口管线，所述第二出口管线联接到喷雾室本体，所述第二气体出口具有比第一出口管线的内部横截面积更大的内部横截面积；以及与第二出口管线流体联接的阀，所述阀配置为至少在配置为允许转移气体通过第二出口管线的打开配置构造与配置为防止气体通过第二出口管线转移的关闭配置构造之间转换，其中，第一出口管线和第二出口管线的相应的内部横截面积的差被配置为允许所述转移气体中的大部分在阀处于打开配置构造时通过第二出口管线转移以防止电感耦合等离子体炬处的等离子体熄灭。
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百度查询： 基础科学公司 用于激光剥蚀样本处理的大气吹扫系统和方法
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