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摘要：一种等离子体头，具备：筒状的主体，其使被等离子体化的工艺气体导通；一对电极，其收容于主体，对工艺气体的一部分进行放电而形成等离子体气体；以及整流构件，其具有多个整流板，该多个整流板使导入至主体的内部而供给至一对电极的工艺气体成为螺旋流。
主权项：1.一种等离子体头，具备：筒状的主体，其使被等离子体化的工艺气体导通；一对电极，其收容于所述主体，对所述工艺气体的一部分进行放电而形成等离子体气体；以及整流构件，其具有多个整流板，该多个整流板使导入至所述主体的内部而供给至一对所述电极的所述工艺气体成为螺旋流。
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百度查询： 株式会社富士 等离子体头及等离子体产生装置
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