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摘要：一种粒子矫正器和粒子系统，涉及粒子技术领域，以解决粒子束流较低、分辨率差、粒子束品质不良等问题。该粒子矫正器包括：第一分束板31和矫正板组件32；第一分束板31具有M个分束孔311；矫正板组件32包括N个堆叠设置的矫正板321、322、323，每个矫正板321、322、323具有M个通孔320和M个电极组件，M个分束孔311与M个通孔320一一对应设置，且M个电极组件与M个通孔320一一对应设置，每个电极组件用于在对应的通孔320内产生用于对粒子束进行矫正的电场；其中，M为大于或等于1的整数，N为大于或等于1的整数。在该粒子矫正器中，能够有效提升粒子束流和粒子束品质；另外，还能提升粒子矫正器的灵活性和适用范围。
主权项：一种粒子矫正器，其特征在于，包括：第一分束板，所述第一分束板具有M个分束孔；矫正板组件，设置在所述第一分束板的一侧；所述矫正板组件包括N个堆叠设置的矫正板，每个所述矫正板具有M个通孔和M个电极组件，M个所述分束孔与M个所述通孔一一对应设置，且M个所述电极组件与M个所述通孔一一对应设置；其中，每个电极组件用于在对应的所述通孔内产生矫正电场；其中，M为大于或等于1的整数，N为大于或等于1的整数。
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百度查询： 华为技术有限公司 一种粒子矫正器和粒子系统
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