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摘要：本发明提出了一种钯合金薄膜氢气传感器及其制备方法和使用方法，属于氢气传感器的技术领域，用以解决氢气传感器中温度传导不均匀、金属器件易与氢气发生反应的技术问题。本发明包括基片，基片其中一面为加热面，另一面为氢敏面，所述加热面上设有加热元件和测温元件，加热元件和测温元件的表面覆盖有阻挡层；所述氢敏面上设有氢敏元件，氢敏元件包括多个相同的氢敏电阻，氢敏电阻组成具有4个桥臂的惠斯通电桥电路，所述4个桥臂上的氢敏电阻的个数相同，且在惠斯通电桥电路其中相对的2个桥臂上的氢敏电阻上覆盖有氢阻挡层。本发明提高了传感器的控温精度、加热元件和测温元件的工作稳定性。
主权项：1.一种钯合金薄膜氢气传感器，其特征在于，包括基片1，基片1其中一面为加热面，另一面为氢敏面，所述加热面上设有加热元件2和测温元件3，加热元件2和测温元件3的表面覆盖有阻挡层4；所述氢敏面上设有氢敏元件5，基片1上设有金属连线和焊盘，金属连线通过焊盘与加热元件2、测温元件3和氢敏元件5连接；所述加热元件2的材料为金、铂或镍铬合金其中任意一种，加热元件2为迂回分布在基片1上的折线型丝状薄膜，加热元件2的厚度为200-500nm；所述测温元件3的材料为铂、镍或铜其中任意一种，测温元件3为迂回分布在基片1上的折线型丝状薄膜，且测温元件3分布在加热元件2的周围，测温元件3的厚度为50-300nm；所述氢敏元件5包括多个相同的氢敏电阻，氢敏电阻组成具有4个桥臂的惠斯通电桥电路，所述4个桥臂上的氢敏电阻的个数相同，且在惠斯通电桥电路其中相对的2个桥臂上的氢敏电阻上覆盖有氢阻挡层6；所述阻挡层4和氢阻挡层6的材料均为Si3N4，阻挡层4和氢阻挡层6的厚度均为50-300nm。
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百度查询： 郑州炜盛电子科技有限公司 一种钯合金薄膜氢气传感器及其制备方法和使用方法
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