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摘要：本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源101，其用于产生一次电子束；电子光学系统102、105、112，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测从试样产生的背散射电子的能谱。能量分析系统具备：维恩过滤器108，其使背散射电子分散；检测器107，其用于测定由维恩过滤器108分散的背散射电子的能谱；以及动作控制部150，其一边使维恩过滤器108的四极场的强度变化，一边与四极场的强度的变化同步地使检测器107的背散射电子的检测位置移动。
主权项：1.一种装置，其特征在于，具备：电子束源，其用于产生一次电子束；电子光学系统，其使所述一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测从所述试样产生的背散射电子的能谱，所述能量分析系统包括：维恩过滤器，其使所述背散射电子分散；检测器，其用于测定由所述维恩过滤器分散的背散射电子的能谱；以及动作控制部，其一边使所述维恩过滤器的四极场的强度变化，一边与所述四极场的强度的变化同步地使所述检测器的所述背散射电子的检测位置移动，所述能量分析系统还具备分流器，该分流器配置在所述维恩过滤器的出口侧，所述分流器具有狭缝，该狭缝在所述背散射电子的分散方向上延伸。
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百度查询： 塔斯米特株式会社 测定背散射电子能谱的装置及方法
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