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摘要：本发明涉及烧结炉技术领域，具体涉及一种用于ITO靶材烧结炉的挥发物回收循环利用系统，包括设置于烧结炉一侧的多级冷凝器，所述多级冷凝器的出料端固定连接有静电吸附装置，所述静电吸附装置出料端固定连接有化学反应釜，所述化学反应釜出料端设置有送回装置；通过设置的多级冷凝器能够依据不同的温度梯度对烧结炉内排放的高温气体进行冷凝处理，通过静电吸附装置利用高压电场捕获未冷凝的ITO粉尘和微小颗粒，将回收的ITO物料输入至化学反应釜内保障回收的ITO物料具备较高的纯度，净化后的ITO物料通过送回装置重新进入烧结炉内进行烧制，从而能够形成完整的闭路循环，实现减少资源浪费提高生产效率的效果。
主权项：1.一种用于ITO靶材烧结炉的挥发物回收循环利用系统，其特征在于，包括：设置于烧结炉1一侧的对烧结炉1排放的高温气体进行冷凝并将挥发的ITO靶材冷凝成固体粉尘的多级冷凝器2，所述多级冷凝器2的进料端与烧结炉1的排气端连接，所述多级冷凝器2的出料端固定连接有利用高压电场捕获未冷凝的ITO粉尘和微小颗粒的静电吸附装置3，所述静电吸附装置3出料端固定连接有用于去除杂质的化学反应釜4，所述化学反应釜4出料端设置有送回装置5，所述送回装置5输出端与烧结炉1连接，所述送回装置5用于将净化后的ITO挥发物重新重新进入烧结炉1内以形成闭路循环。
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百度查询： 芜湖映日科技股份有限公司 一种用于ITO靶材烧结炉的挥发物回收循环利用系统
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