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摘要：一种定向工具，用于对具有样品的样品安装座进行定向，以通过使用电子背散射衍射检测器的扫描电子显微镜对样品进行评估。该定向工具包括具有底表面和顶表面的主体，从底表面延伸至顶表面的倾斜平面，以及形成在主体中并位于顶表面和倾斜平面之间的安装部分。安装部分由壁和支撑表面限定。壁从顶表面延伸至支撑表面，支撑表面从壁延伸至倾斜平面。壁相对于垂直于底表面的假想垂直线成20度角。安装部分的尺寸被设计为容纳样品安装座并且相对于电子背向散射衍射检测器来定向样品。
主权项：1.一种用于评估在扫描电子显微镜SEM内的样品的系统，所述系统包括：配置为固定在所述SEM内的定位套环；样品安装座，其具有后表面、抛光表面以及从所述后表面延伸至所述抛光表面的侧表面，其中，样品评估区域暴露在所述抛光表面内；设置在所述定位套环内的定位工具，所述定位工具包括：主体，其具有底表面和顶表面；从邻近所述底表面延伸至所述顶表面的倾斜平面；以及形成在所述主体中并位于所述顶表面和所述倾斜平面之间的安装部分，所述安装部分由壁和支撑表面限定，其中，所述壁从所述顶表面延伸至所述支撑表面，所述支撑表面从所述壁延伸至所述倾斜平面，其中，所述壁相对于垂直于所述底表面的假想垂直线成20度角；以及其中，所述样品安装座设置在所述安装部分内并且所述后表面抵接所述壁，所述侧表面抵接所述支撑表面，所述抛光表面相对于所述SEM的垂直轴线成20度角。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通用汽车环球科技运作有限责任公司 用于电子背向散射衍射的定向工具
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