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摘要：本发明公开了一种暗场缺陷检测装置，涉及光学检测技术领域。暗场缺陷检测装置包括第一照明光学系统、第一反射镜和成像系统；第一照明光学系统，被配置为发射暗场照明光束，暗场照明光束由待测物体的端面入射至待测物体的内部；成像系统被配置为对由待测物体的上表面或者下表面出射的光束成像；第一反射镜被配置为将由待测物体的端面出射的光束，再次反射进入到待测物体中。本发明实施例提高了能量利用率，节约了成本，增加了检测的可调性和灵活性。
主权项：1.一种暗场缺陷检测装置，其特征在于，包括第一照明光学系统、第一反射镜和成像系统；所述第一照明光学系统，被配置为发射暗场照明光束，所述暗场照明光束由待测物体的端面入射至所述待测物体的内部；所述成像系统被配置为对由所述待测物体的上表面或者下表面出射的光束成像；所述第一反射镜被配置为将由所述待测物体的端面出射的光束，再次反射进入到所述待测物体中。
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百度查询： 新毅东(北京)科技有限公司 一种暗场缺陷检测装置
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