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预电离针阵列击穿的判定装置及方法 

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摘要:本发明涉及准分子激光器技术领域,特别涉及一种预电离针阵列击穿的判定装置及方法,其中,装置包括:多个单头通陶瓷套管,每个单头通陶瓷套管固定在目标上电极支撑板上,并与目标预电离针阵列垂直;多个预设磁探头,每个预设磁探头固定在一个单头通陶瓷套管的内部,以保证目标激光器产生的磁感线完全穿过每个预设磁探头的线圈;多通道信号探测装置,其通过目标激光器上的多芯穿墙接口分别与每个预设磁探头连接,以在目标预电离针阵列发生击穿后,将每个预设磁探头的电压信号引出,检测每个预设磁探头的电压信号,并根据电压信号判定在主放电之前目标预电离针阵列是否全部被击穿。由此,解决了现有技术无法有效监测和判断每根针的击穿情况等问题。

主权项:1.一种预电离针阵列击穿的判定装置,其特征在于,包括:多个单头通陶瓷套管,所述多个单头通陶瓷套管中的每个单头通陶瓷套管固定在目标上电极支撑板上,并与目标预电离针阵列垂直,以固定预设磁探头;多个预设磁探头,所述多个预设磁探头中的每个预设磁探头固定在一个单头通陶瓷套管的内部,以保证目标激光器产生的磁感线完全穿过所述每个预设磁探头的线圈;多通道信号探测装置,所述多通道信号探测装置通过所述目标激光器上的多芯穿墙接口分别与所述每个预设磁探头连接,以在所述目标预电离针阵列发生击穿后,将所述每个预设磁探头的电压信号引出,检测每个预设磁探头的电压信号,并根据所述电压信号判定在主放电之前所述目标预电离针阵列是否全部被击穿。

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